1.技術(shù)特點(diǎn)：
優(yōu)質(zhì)的爐膛隔熱材料(碳?xì)?和高氣密性爐膛，爲(wèi)多晶矽生長(zhǎng)提供優(yōu)良的條件。
高性能的加熱系統(tǒng)，能保證結(jié)晶過(guò)程中矽材料的均勻性和一致性。
採(cǎi)用1600℃陶瓷纖維+石墨軟氈雙重安全防護(hù)設(shè)計(jì),並有自動(dòng)漏矽感應(yīng)系統(tǒng)，可及時(shí)啟動(dòng)漏矽應(yīng)急措施。其卓越的安全保障，大大降低事故隱患。
真空系統(tǒng)採(cǎi)用三泵設(shè)計(jì)，生長(zhǎng)期內(nèi)使用小副泵維持，大大降低了真空系統(tǒng)的能耗。
工藝過(guò)程電腦全自動(dòng)控制，圖形模擬顯示，操作簡(jiǎn)潔方便。
先進(jìn)的多晶矽定向凝固技術(shù)。
隔熱籠同步提昇技術(shù)，保證垂直方向的溫度梯度和固液界面水平;
垂直方向溫度梯度的熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速的晶體生長(zhǎng)
2.規(guī)格型號(hào):
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型號(hào) |
TC500 |
TC650 |
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設(shè)備尺寸 mm |
L3700×W3900×H4200 |
L3700×W3900×H4200 |
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矽錠尺寸 mm |
480kg：840×840×300 |
650kg：1000×1000×280 |
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矽錠重量 kg |
420-480 |
650-700 |
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生產(chǎn)週期 hr |
52-56 |
60-63 |
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配電 |
AC 380±10% V 50Hz，200kVA， 三相五線(xiàn)制. |
AC 380±10% V 50Hz，200KVA， 三相五線(xiàn)制. |
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加熱功率 kw |
165 |
165 |
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單爐次加熱能耗 kW.hr |
＜2980(430kg) |
＜4100(680kg) |
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最高溫度 ℃ |
1600 |
1600 |
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最高工作溫度 ℃ |
1590 |
1590 |
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真空系統(tǒng) |
機(jī)械泵+羅茨泵 |
機(jī)械泵+羅茨泵 |
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爐內(nèi)極限真空 mbar |
0.02 |
0.02 |
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系統(tǒng)漏率 mbar∕hr |
0.01 |
0.01 |
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抽空時(shí)間 min |
～39 |
～39 |
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冷卻水 |
流量：140L/min
壓力：3.5~5bar
壓差：＞0.25bar
進(jìn)水溫度：21-30℃ |
流量：140L/min
壓力：3.5~5bar
壓差：＞0.25bar
進(jìn)水溫度：21-31℃ |
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壓縮空氣 bar |
5~6 |
5~6 |
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工藝氣體 Ar |
流量：0-50L/min
氣源純度：≤50ppm
單爐耗氣量：～70m3
壓力：4~6bar |
流量：0-50L/min
氣源純度：≤50ppm
單爐耗氣量：～100m3
壓力：4~6bar | |
